“整片晶圆流程完成。”
“现在就差电测。”
罗世钧站在一边,白眉下的眼睛亮得惊人。
“老头子以前觉得,绕开阿贝极限已经够狂了。”
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“今天算是开眼。”
“你这是快把‘光刻’两个字直接扔进历史里了。”
张怀民戴着手套,手背上青筋暴起。
他死死盯着真空腔,像盯着一个刚出生的孩子。
“别说废话。”
“出片。”
秦立成抬手。
“机械臂准备。”
真空腔下方,银白色机械臂缓缓伸出。
第一批完成原子级并行制造的晶圆被托盘稳稳托起,送向检测台。
晶圆表面沉静,像一面黑镜。
但每个人都知道,那片薄薄的硅上,已经排下了数十亿个原子级结构。
一个年轻工程师咽了口唾沫。
“许总,要不要先做一轮非接触扫描?”
张怀民瞪了他一眼。
“扫描已经做了八轮。”
“我这把老骨头,等今天等了几十年。”
“下探针。”
检测台亮起。
探针卡缓缓下降。
一根根细到肉眼难辨的探针,对准晶圆上的测试焊盘。
无尘室里,呼吸声都轻了。
秦立成盯着主屏。
“上电。”
“电压零点七伏。”
“片上自检开始。”
第一行数据跳出。
灰色。
第二行。
还是灰色。
第三行。
依旧灰色。
有人下意识攥紧了手。
张怀民的喉结也动了一下。
周群远程接入的声音从扬声器里传出。
“别慌。”
“并行阵列唤醒需要同步锁相。”
话音刚落。
主屏左上角,第一盏绿灯亮了。
接着第二盏。
第三盏。
一排。
十排。
百排。
绿光像潮水一样,从屏幕左侧一路推向右侧。
【线宽检测:6.91nm】
【边缘粗糙度:0.018nm】
【测试阵列有效闭合率:99.993%】
【冗余修复后逻辑裸片可用率:72.6%】
【互连空洞缺陷:未检出】
【等效制程:7nm】
【同频功耗:较西方EUV 7nm工艺降低21.4%】
【开关延迟:降低16.8%】
秦立成嘴唇都在抖。
“继续。”
随机布尔测试启动。
【随机布尔运算:/】
【片上缓存读写:通过】
【射频单元唤醒:通过】
【5G基带握手模拟:通过】
【逻辑门闭合率复核:99.992%】
【晶圆级并行制造验证:通过】
整面大屏,彻底被绿光点亮。
这一次,不再是“一个单元能工作”。
而是整套路线第一次从原理、制造到电测全部闭合。
秦立成摘下护目镜,狠狠抹了一把脸。
“成了!”
“许总,真的成了!”
张怀民没喊。
老人只是往后退了半步,双手撑住检测台边缘。
下一秒,他忽然蹲了下去,捂住脸,肩膀微微发抖。
“成了……”
“这回是真的成了……”
无尘室里一片安静。
罗世钧摘下眼镜,又慢慢戴回去,镜片上全是水汽。
张怀民的声音断断续续。
“我年轻那会儿,带队去国外看设备。”
“人家让我们隔着玻璃看。”
“问我们,买得起维护吗?”
“后来学生签证被卡,样片被扣,EDA授权半夜过期。”
“我们做一颗芯片,要看别人脸色。”
“要等别人的窗口期。”
“要猜别人哪天心情好。”
他抬起头,眼泪顺着脸往下掉。
“今天能回答学生了。”
“咱们华夏,能自己造芯片了。”
几个年轻工程师当场红了眼眶。
有人把头偏开。
有人隔着手套,轻轻拍了拍胸口。
许燃走过去,把张怀民扶了起来。
“张老,第一片只是入场券。”
张怀民抓住他的手腕。
“我不是哭第一片。”
“我是替那些没等到今天的人哭。”
许燃没说话。
他眼前,淡金色系统提示一闪而过。
【烛龙路线晶圆级验证成功】
【判定:华夏科技跨越重要节点】
【真理推演进度 +5%】
提示散去。