第83章 nm光刻机

* 攻关: 蜀道公会的晶体生长专家(此前负责精密陀螺仪)与蓬莱公会的精密光学团队(负责卫星镜头)联手,成立了“洞察之眼”项目组。

他们需要建立超净车间,精确控制温度、压力,像培育钻石一样缓慢生长出超大尺寸、无缺陷的氟化钙单晶。

随后,钢骨的材料团队提供了超硬、超细的钻石研磨膏和独特的抛光工艺。每一块镜片的诞生,都耗时数月,代价高昂。

* 突破: 当第一组由氟化钙透镜组成的、专为198nm波长优化的投影物镜被制造出来,并通过干涉仪检测,其波像差被控制在惊人的纳米级别时,整个实验室沸腾了!

* 难题: 有了光源和镜头,还需要能与之匹配的光刻胶、抗反射涂层以及全新的显影、刻蚀工艺。198nm光子的能量更高,与光刻胶的化学反应更为剧烈和复杂。

* 攻关: 炼金术士再次带领团队,合成了一系列化学放大型光刻胶,它们能在激光曝光后发生链式反应,极大提高光敏度。同时,还需要开发新的底部抗反射涂层(BARC) 来抑制驻波效应。

硅魂的工艺团队则泡在实验室,反复调整预烘、曝光、后烘、显影的每一个参数,摸索最佳工艺窗口。

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* 突破: 经过成千上万次的实验,他们终于找到了一种光刻胶和工艺组合,能够在198nm激光下,清晰地显影出0.18微米(180纳米) 的细线条!虽然线宽粗糙度(LWR)还很大,但这证明了路走通了!

当“弑神”光源、“洞察之眼”镜头和“微影之握”工艺逐渐成熟,将它们整合成一台全新的、庞杂而精密的机器,成为了最后的挑战。

在“龙脊”工业园一座新建的、抗震、恒温恒湿、洁净度达到10级(每立方英尺内粒径≥0.5μm的尘埃粒子少于10个) 的超净车间内,华盟的第一台198nm步进扫描投影光刻机——“烛龙-II型” ,完成了最后的总装和调试。

它比“烛龙-I型”庞大得多,结构也复杂得多。巨大的激光器单元被安置在角落,通过复杂的光路系统将激光引导至掩模版和镜头。精密工件台在磁悬浮导轨上高速且平稳地运动。整个系统被包裹在金属外壳内,充满了未来科技感。

首次流片(试生产)日。

硅魂推了推空气眼镜,手指微微颤抖地按下了启动按钮。激光器发出低沉的嗡鸣,光路接通,工件台开始精准移动。所有人都屏息凝神,透过观察窗看着内部那肉眼不可见的、在硅片上雕刻微观世界的宏大过程。

几个小时后,第一片晶圆完成了所有工序。它被迅速送入检测室,放在一台同样刚刚攻关完成的、更高倍的扫描电子显微镜(SEM) 下。