视频会议,李蒙蒙听到王一哲的问话,愣了一下,随即有些不好意思地笑了笑:
“王总,杨总,实在抱歉,我一着急,光顾着牵线搭桥,把最关键的信息给忘了沟通了。”
她连忙对孙礼解释道:
“孙所长,是这样的!园丁科技这边,杨总他们已经基于赵琴先生提出的技术设想,完善并优化出了一套相对完整的极紫外光光源解决方案!
根据赵琴先生完善后的理论推算,使用特定锡合金靶材,其13.5纳米极紫外光的能量转换效率,相对于纯锡靶材,理论上能提升五十倍!
而杨总在此基础上进行的优化,理论极限值更是能达到惊人的千倍!即便考虑到工程实现,稳定达到百倍提升也是轻而易举!”
“五十倍?千倍?百倍?”
孙礼副所长听完李蒙蒙的解释,原本沉稳儒雅的脸上瞬间写满了难以置信,他身体微微前倾,目光锐利地扫过屏幕上的王一哲、杨曼曼和赵琴三人。
他声音都带着一丝不易察觉的颤抖:
“王董事长,杨总,赵先生……李经理说的这些数据,是真的?你们……你们确定?”
这由不得他不震惊!
他所在的团队,为了攻克EUV光源的功率瓶颈,耗费了无数心血,进展却始终缓慢。
如今主流纯锡靶材那可怜的0.02%转换效率,如同天堑般横亘在前。
五十倍的提升已是梦幻,百倍、千倍?这简直是要颠覆整个光刻领域的认知!
在得到王一哲肯定的点头、杨曼曼平静的确认以及赵琴“杨总优化后确实能达到”的补充后,孙礼感觉自己的心跳都漏了几拍。
他脑海中飞速闪过一系列念头:
本以为只是接触一个颇有潜力的“技术设想”,没想到对方拿出的竟是近乎成熟的理论和完整的解决方案!
如果这一切属实……
EUV光刻机量产的最大障碍——光源问题,将迎刃而解!