第一次试产,良率就能达到94.3%,等以后根据情况多次调整设备,良率还可以再提升几个百分点。
沈院士猛地一拍大腿,声音里满是激动:“94.3%!这良率在国外巨头的生产线上,也是出类拔萃的存在,你们直接一步到位,这不仅是技术突破,更是给龙国半导体产业挣足了底气!”
楚千澜望着屏幕上平稳的良率曲线,指尖轻叩观察窗,眸色沉静却难掩锋芒。
“试产达标只是起点。让技术团队趁热打铁,接下来一周进行连续量产测试,模拟24小时不间断运转,重点监测设备损耗、耗材消耗和良率波动,务必在正式量产前把所有潜在问题都暴露出来。”
王世杰重重点头,笔尖在笔记本上飞速记录:“明白!我这就安排三班倒测试,每两小时记录一次核心参数,同步分析光源衰减、镜头损耗和晶圆传送精度变化,形成完整的量产可行性报告。”
张北光补充道:“我们还准备了三种不同批次的光刻胶和硅晶圆,会在测试中轮换使用,验证设备对不同耗材的适配性,确保量产时不会因原材料批次差异影响良率。”
楚千澜微微颔首,目光扫过车间里忙碌的技术团队,每个人脸上都带着疲惫却兴奋的神色。
从拆解第一台250纳米光刻机到自主研发45纳米放大版产线,两年多的日夜攻关,无数次的参数调整和故障排查,终于换来了此刻的突破。
楚千澜抬手看了看时间,语气带着不容置疑的决断:“连续量产测试期间,让后勤部门全力保障,技术团队轮班休息但必须随时待命。
另外,通知星源探索,优先调配28纳米存储芯片的设计图纸,等45纳米芯片量产稳定后,第一时间进行流片试产,验证多重曝光技术在45纳米产线上的应用。”
张北光眼中闪过一丝炽热,连忙应声:“明白!28纳米存储芯片的设计图纸早已同步给技术团队,我们已提前完成光刻参数适配推演。
按照公司计划,只要45纳米产线稳定运转七天,就可以启动多重曝光技术,测试生产28纳米芯片。”
楚千澜目光落在屏幕上“94.3%良率”的醒目数据上,语气带着几分审慎:“多重曝光技术的测试可以按计划推进,但必须建立在45纳米产线完全稳定的基础上。